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本文论述在食品包装保质保鲜方面，对普通包装基材PET，BOPP等表面采用等离子体化学气沉积一层纳米级透明的SiOx层高阻隔层。实验分别以四甲基二硅氧烷（TMDSO）和六甲基二硅氧烷（HMDSO）为单体，氧气为反应气体，氩气为电离气体，在载玻片，单晶硅片，PET，BOPP等包装基材上演积硅氧阻隔膜。比较了不同单体在制备氧化硅阻隔膜时各种工艺参数对薄膜的阻隔性能影响。