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期刊论文
脉冲多弧离子镀研究
脉冲多弧离子镀研究
来源 :西安工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LYXTTKX
【摘 要】
:
介绍一种新型镀膜方法的工作原理及相关参数,介绍了采用这种新型镀膜方法镀制的类金刚石膜层的性能。
【作 者】
:
杭凌侠
严一心
【出 处】
:
西安工业学院学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
离子镀
类金刚膜
多弧离子膜
镀膜
真空电弧
ion deposition ion source diamond like carbon films
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介绍一种新型镀膜方法的工作原理及相关参数,介绍了采用这种新型镀膜方法镀制的类金刚石膜层的性能。
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