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本文对应力测量方法进行了评述和展望。主要介绍了多种传统测量应力的方法及原理,如小孔法、X射线衍射法、磁测法、超声波法、裂纹柔度等方法。并且提出了潜在可以用来表征薄膜界面间应力的一种新方法——溅射深度剖析定量分析。
应力测量方法
【摘 要】
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本文对应力测量方法进行了评述和展望。主要介绍了多种传统测量应力的方法及原理,如小孔法、X射线衍射法、磁测法、超声波法、裂纹柔度等方法。并且提出了潜在可以用来表征薄
【机 构】
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汕头大学物理系
【出 处】
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材料科学
【发表日期】
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2016年1期
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