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本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力以及y轴Mises等效应力显著增大,而对于界面处的y向压应力影响不是很大.在一定的范围内(0＜t/a＜0.1),DLC薄膜的厚度越大越有利于薄膜体系内部应力的改善.模拟结果能为不同膜系系统中涂层基底结合力的评价以及界面失效临界应力的预估提供参考.