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在原子层淀积的Al2O3薄膜表面自组装生长Au纳米颗粒，研究了Au纳米颗粒的自组装过程和热稳定性．结果表明，原子层淀积的Al2O3薄膜表面很容易吸附氨丙基三甲基硅烷（APTMS），有利于Au纳米颗粒的自组装，生长出的AU纳米颗粒尺寸为58nm，密度约为4×10^11cm^-2．在300℃氮气中退火使Au纳米颗粒的尺寸增大，但是没有改变APTMS的吸附状态和Au的化学组成．当退火温度提高到450℃时，Au纳米颗粒发生明显的团聚，且分布变得极不均匀．