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应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中间的热应力要比边部的大，主要是 压应力．这种很大的压应力，容易引起金刚石膜的炸裂．
大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
【摘 要】
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应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中间的热应力要比边部的大，主要是 压应力．这种很
【出 处】
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北京科技大学学报
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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国家“863”高科技资助!715－002－Z030
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