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本文介绍了各种椭偏仪的原理及性能，重点对外差式椭偏仪进行介绍，并对提出的几种外差透射椭偏仪的原理进行了实验验证。
纳米精度外差椭偏仪的研制
【摘 要】
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本文介绍了各种椭偏仪的原理及性能，重点对外差式椭偏仪进行介绍，并对提出的几种外差透射椭偏仪的原理进行了实验验证。
【机 构】
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深圳大学工程技术学院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2000年Z01期
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