论文部分内容阅读
采用电子束蒸发沉积成膜工艺在单晶si（111）衬底上制备出Co，Cu共掺杂的Zn0．85-xCo0.15CuxO（x=0，0．04，0．06）多晶膜。采用X射线衍射（XRD）研究了Co、Cu掺杂对其微结构的影响；室温下测量了Zn0.85-xCo0.15CuxO薄膜的光致发光谱，发现随着Cu掺杂量的增加，样品发光增强，当Cu掺杂x=0．06时，Zn0.85-xCo0.15CuxO薄膜的PL谱中出现了较强的双峰蓝光发射；分析了掺杂含量对其发光性能的影响，并对样品的发光机制进行了探讨，并推断出蓝光峰来源于电子由