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非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡（FTO）导电玻璃作为基板,但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化,导致无法得到较优的陷光结构,从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率,探讨了替代型的掺铝氧化锌（AZO）薄膜,通过优化前段磁控溅射镀膜工艺和后段湿化学蚀刻工艺,用以平衡AZO薄膜的光电性能和雾度,从而获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃,使其成为理想的非晶硅薄膜太阳能电池的基板材料。实验表明,经工艺优化后制作的AZO导电玻璃可提升光电转换效率。