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测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法．这些方法大概可以分为三类：电学方法、光学方法和物理接触方法，介绍了各种方法的物理基础，并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论．图6表1参51
电子、通信与自动控制技术：半导体技术——半导体器件的温度测量
【摘 要】
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测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法．这些方法大概可以分为三类：电学方法、光学方法和物理接触方法，介绍了各种方法的物理基础，并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度
【出 处】
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中国学术期刊文摘
【发表日期】
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2008年2期
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