论文部分内容阅读
乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并对乙硅烷的前景进行了分析和展望。
半导体用硅基特气乙硅烷的研究进展
【摘 要】
：
乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并
【机 构】
：
洛阳中硅高科技有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室,中国恩菲工程技术有限公司
【出 处】
：
化工管理
【发表日期】
：
2018年19期
【基金项目】
：
项目：2016年国家工业强基工程,编号：0714-EMTC02-5593
其他文献
随着科技的发展,中海油惠州石化公司不断发展壮大,目前已引进3台723-K-101B/C型螺杆压缩机,但在试车运行过程中出现机组振动探头值虚高问题,设备返厂维修,笔者在见证维修过程