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采用溶胶－凝胶方法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备了光滑均匀的ＰＺＴ（５０／５０）铁电薄膜。用ＸＲＤ、ＦＴ－ＩＲ反射光谱、Ｒａｍａｎ光谱以及原子力显微镜研究了薄膜随热处理温度的结构变化过程以及薄膜中有机物的挥发。Ｒａｍａｎ光谱给出了薄膜中三方和四方相共存及转变的结构变化信息。
溶胶—凝胶法制备PZT铁电薄膜的结构特征研究
【摘 要】
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采用溶胶－凝胶方法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备了光滑均匀的ＰＺＴ（５０／５０）铁电薄膜。用ＸＲＤ、ＦＴ－ＩＲ反射光谱、Ｒａｍａｎ光谱以及原子力显微镜研究了薄膜随热处理温度的结构变化过程以及薄膜中有机物的挥发。Ｒａｍａｎ光谱给出了薄膜中
【机 构】
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同济大学功能材料研究所,西安交通大学电子材料研究室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1999年5期
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