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太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究属于新型透明导电材料领域，具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。以未引入电极的太阳能电池片为基片，清洗后送入磁控溅射反应室，以纯 Al 为靶材进行磁控溅射得到20~300 nm 厚的 Al 薄膜，然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有 Zn(CH2 CH3)2的氩气，沉积得到50~600 nm厚的ZnO 薄膜，最后在氧气气氛下，于400~600℃对载有 ZnO 和 Al 薄膜的基片退火处理，得到ZnO/Al薄膜。制备工艺简单，沉积过程易于控制，透明导电薄膜的均匀性好，光电性能优异，以此作为太阳能电池的背电极，替代传统的铝金属电极，进一步提高了太阳能电池的转化效率。