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聚焦离子束系统以其超强的微加工及微分析能力在微电子领域的地位越来越重要。随着聚焦离子束系统的发展，离子束和电子束结合的双束聚焦离子束系统已经普遍被使用。双柬聚焦离子束系统结合了高能离子束和电子束的优点，采用液态镓离子源通过高压引出，并经偏转会聚为离子束实现样品加工，利用高能电子束扫描样品成像，可以做到边加工边观察。本文介绍了双束聚焦离子束系统的组成，主要部件的工作原理及在微电子领域的主要应用，并详述了主要应用的操作方法。