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采用SU-8结构释放并键合玻片制作了多层结构的微流体芯片，探讨了影响芯片气密性和沟道堵塞的因素，并通过荧光显示验证，提供了一种快速、低成本的塑性微流体器件制作方法。
基于SU-8负胶的微流体器件的制作及研究
【摘 要】
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采用SU-8结构释放并键合玻片制作了多层结构的微流体芯片，探讨了影响芯片气密性和沟道堵塞的因素，并通过荧光显示验证，提供了一种快速、低成本的塑性微流体器件制作方法。
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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上海市AM基金(批准号:AM0303);上海市纳米专项基金(No.0452NM038)
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