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文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号.
电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计
【摘 要】
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文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号.
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
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2002年5期
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