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文章提出了一种应用MEMS工艺实现的新型小型化Ka波段滤波器。利用在腔内加载了切角的近似方形脊的矩形波导结构实现双模滤波，有效地减小滤波器的尺寸。采用双腔结构构成了四阶滤波器，实现了较宽的带宽和较好的选择性。输入输出采用正方形同轴结构，易于加工，而且可以进一步减小滤波器尺寸。通过在HFSS中建立模型并仿真，得到了较满意的结果。