【摘 要】
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采用稀盐酸对磁控溅射法制备的平面掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)薄膜表面进行湿法刻蚀制绒,分析了盐酸浓度和刻蚀时间对AZO薄膜表面的形貌特征和光电特性的影响。研究发现,湿法刻
【机 构】
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中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司,河北大学物理科学与技术学院
【基金项目】
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华能集团科技项目(TW-13-CERI01)
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采用稀盐酸对磁控溅射法制备的平面掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)薄膜表面进行湿法刻蚀制绒,分析了盐酸浓度和刻蚀时间对AZO薄膜表面的形貌特征和光电特性的影响。研究发现,湿法刻蚀导致AZO薄膜表面呈现大尺度的陨石坑形貌特征,随刻蚀时间增加,薄膜在大于500nm的长波范围内光学透过率可维持在70%?75%,且800nm处雾度值可高达48%,陷光能力快速增加,而面电阻率呈现逐渐增加趋势。高的盐酸浓度可以导致薄膜表面呈现较快凹型形貌特征,并可给出较高的雾度值。为了在保持高雾度值的条件下改善薄膜导电性,在2%盐酸
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