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期刊论文
氯硅烷残液处理技术研究进展
氯硅烷残液处理技术研究进展
来源 :有色冶金节能 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rqcai
【摘 要】
:
介绍了水解法、焚烧法及蒸发法等传统氯硅烷残液处理技术及其优缺点,详述了残液过滤新技术的相关实验研究,并借助X射线衍射仪、扫描电镜及离子光谱分析对过滤前后的液相和渣
【作 者】
:
刘挥彬
杨永亮
张升学
汤传斌
【机 构】
:
中国恩菲工程技术有限公司
【出 处】
:
有色冶金节能
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
氯硅烷残液
四氯化硅
过滤技术
清洁生产
chlorosilane residual liquid
silicon tetrachloride
filtra
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介绍了水解法、焚烧法及蒸发法等传统氯硅烷残液处理技术及其优缺点,详述了残液过滤新技术的相关实验研究,并借助X射线衍射仪、扫描电镜及离子光谱分析对过滤前后的液相和渣相进行了对比分析,认为过滤技术是现有的残液处理工艺中一种新型的清洁生产技术。
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