【摘 要】
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Transparent conducting Al-doped zinc oxide (ZnO:Al) films with good adhesion have been deposited on polyimide thin film substrates by r.f. magnetron sputtering
【机 构】
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InstituteofScience,SchoolofPhysicsandMicroelectronics
【基金项目】
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国家自然科学基金，the Ministry of Education of China Science and Technology Study Accented Term
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Transparent conducting Al-doped zinc oxide (ZnO:Al) films with good adhesion have been deposited on polyimide thin film substrates by r.f. magnetron sputtering technique at low substrate temperature (25～180℃). The structural,optical and electrical propert
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