种子层（Ni0．81Fe0．19）1-xCrx成分及厚度对Ni0.81Fe0．19薄膜磁性和微结构的影响

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【摘要】

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用直流磁控溅射方法制备了性能优良的以(Ni0.81Fe0.19)1-xCrx为种子层的Ni0.81Fe0.19薄膜,研究了种子层成分及厚度对薄膜磁性和微结构的影响,结果表明:当种子层(Ni0.81Fe0.19

【作者】

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李海峰马纪东张辉于广华朱逢吾

【机构】

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北京科技大学材料物理与化学系

【出处】

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金属学报

【发表日期】

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2003年10期

【关键词】

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Ni0.81Fe0.19薄膜 (Ni0.81Fe0.19)1-xCrx种子层各向异性磁电阻晶粒尺寸 111织构 Ni0.81Fe0.19 film (Ni

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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用直流磁控溅射方法制备了性能优良的以(Ni0.81Fe0.19)1-xCrx为种子层的Ni0.81Fe0.19薄膜,研究了种子层成分及厚度对薄膜磁性和微结构的影响,结果表明:当种子层(Ni0.81Fe0.19)0.63Cr0.37厚度为5.5 nm时,Ni0.81Fe019(20.0 nm)薄膜的各向异性磁电阻(AMR)值为(2.53±0.06)%;当Cr的含量为0.36时,Ni0 81Fe0.19(60.0 nm)薄膜的AMR值为(3.35±0.06)%.AFM及XRD研究表明:不同

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