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通过比较实测与计算所得整体材料纳米压入加载曲线及Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ压头的面积函数，对已建立的Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ压头绝对钝化量的确定方法进行了实验验证。在此基础上，测定了蒸发镀制在Ｓｉ单晶上三种不同膜厚Ａｌ膜的屈服强度和硬化指数。并与拉伸分离法获得的结果进行了比较。结果表明，利用纳米压入加载曲线确定陶瓷基体上金属薄膜基本力学性能的方法是可行的。