【摘 要】
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随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程技术的发展,对精密三维微小零件(特征尺寸在微米级到毫米级)的需求日益迫切。其结构形状的特异化、零件材料的多
【基金项目】
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国防基础科研项目(A3620080231);兵器预研支撑基金项目(62301110706));长春市科技发展计划项目(2006CC01)
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随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程技术的发展,对精密三维微小零件(特征尺寸在微米级到毫米级)的需求日益迫切。其结构形状的特异化、零件材料的多样化、尺寸与表面质量的高精度化成为三维微小零件及其微型装置及设备的显著特征,在使用功能、材料特性、结构形状、可靠性等方面的要求也越来越高。本文着重对超精密微机械制造技术的内涵、国内外研究现状和发展动态进行整理和描述,并对超精密微机械制造技术的未来发展趋势进行总结,为我国未来的先进制造技术研究与计划制订提供参考。
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