论文部分内容阅读
介绍以四氯化硅为原料生产的几种化学产品（气相法白炭黑、硅酸乙酯、多晶硅、光纤材料、三氯氢硅）的生产技术的现状和发展趋势，并分析这些产品的市场容量和对消耗四氯化硅所起的作用。国内多晶硅的大规模生产即将兴起，解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍国内外四氯化硅氢化技术，及笔者正在开发的等离子体四氯化硅还原新工艺。