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耿锦启在集成电路设备领域工作30余年,历任北京建中机器厂(国营700厂)技术员、车间主任、副厂长,现任北京科控微电子系统工程有限责任公司董事、总经理,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司董事、总经理。从"七五"至"九五"期间,曾主要参与多项国家集成电路设备重点攻关任务。2003年4月至今,承担了国家"十五"863集成电路制造装备重大专项"100nm高密度等离子刻蚀机"的研制任务。