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本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作为设计微小机电强链驱动器的参考.
微小机电强链中的驱动器
【摘 要】
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本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心,上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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