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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
准分子激光均束系统的研究
【摘 要】
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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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总装备部资助项目
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提出了基于径向约束的CCD相机标定的模型参数非线性整体优化的方法。利用Harris算法检测标定板的各角点图像坐标,保证了标定板角点的稳定性和可靠性;进行RAC(radial alignment constraint)两步法标定,并用Levenberg-Marquardt算法对通过径向约束标定得到的所有相机模型参数进行非线性整体优化,提高了相机参数的标定精度。实验结果表明,该方法标定精度高,能明显减