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介绍了集成电路电参数变化率对短期校准的需求和Verigy 93000集成电路测试系统的校准方式,研究实现了Verigy 93000集成电路测试系统的短期校准装置,该装置可应用于直流参数变化率测试。
Verigy 93000短期校准在变化率测试中的应用
【摘 要】
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介绍了集成电路电参数变化率对短期校准的需求和Verigy 93000集成电路测试系统的校准方式,研究实现了Verigy 93000集成电路测试系统的短期校准装置,该装置可应用于直流参数变
【机 构】
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中国电子技术标准化研究院
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2012年4期
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