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全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化.介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方面,大大提高了设备的稳定性及安全性.
全自动硅片清洗设备的技术改进
【摘 要】
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全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化.介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年10期
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