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给出了利用选择性的电化学腐蚀过程制备氧化多孔硅光波导棱镜的方法,分别制备出基于多孔硅的汇聚和发散透镜.这类波导棱镜可以明显地汇聚和发散波导中传输的偏振光束.
多孔硅波导透镜的实验研究
【摘 要】
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给出了利用选择性的电化学腐蚀过程制备氧化多孔硅光波导棱镜的方法,分别制备出基于多孔硅的汇聚和发散透镜.这类波导棱镜可以明显地汇聚和发散波导中传输的偏振光束.
【机 构】
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新疆大学信息科学与工程学院
【出 处】
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新疆大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2003年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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