【摘 要】
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金属/ 氧化物薄膜材料具有优良的物理化学特性,近年来得到了人们的广泛关注和研究.但是,金属/ 氧化物材料的界面复杂性一直是困扰科研人员的难题.界面结构对材料性能有着重大
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
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金属/ 氧化物薄膜材料具有优良的物理化学特性,近年来得到了人们的广泛关注和研究.但是,金属/ 氧化物材料的界面复杂性一直是困扰科研人员的难题.界面结构对材料性能有着重大的影响.分析了氧、缺陷、过渡金属等对金属/ 氧化物界面的影响,着重讨论了界面结构与特性及对附着性的影响及提升附着性的方法.结果表明,氧的含量及分布、过渡金属中间层、表面电子密度差、离子束辅助沉积、后期处理等对薄膜界面结合特性都有重要影响.
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