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本文分析研究了国内外离子镀技术的动态，阐述了离子镀的特点，介绍了离子镀设备及工艺的发展和现状以及实用的离子镀膜检测方法。
离子镀技术的发展和现状
【摘 要】
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本文分析研究了国内外离子镀技术的动态，阐述了离子镀的特点，介绍了离子镀设备及工艺的发展和现状以及实用的离子镀膜检测方法。
【出 处】
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薄膜科学与技术
【发表日期】
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1995年3期
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