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随着科技的发展,对码盘、圆光栅的线条数、均匀性要求越来越高,本文着重对码盘、圆光栅刻制中出现的均匀性问题进行分析,找出影响码盘、圆光栅均匀性的主要因素,提出了相应的改进措施.
提高码盘、圆光栅均匀性的研究
【摘 要】
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随着科技的发展,对码盘、圆光栅的线条数、均匀性要求越来越高,本文着重对码盘、圆光栅刻制中出现的均匀性问题进行分析,找出影响码盘、圆光栅均匀性的主要因素,提出了相应的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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2004年12期
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