【摘 要】
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钴（Co）具有较低的电阻率、良好的热稳定性、与铜（Cu）粘附性好等优点，可以替代钽（Ta）成为14 nm以下技术节点集成电路（IC） Cu互连结构的新型阻挡层材料。化学机械抛光（CMP）是唯一可以实现Cu互连局部和全局平坦化的方法，也是决定Co基Cu互连IC可靠性的关键技术。柠檬酸含有羟基，在电离后对金属离子有较强的络合作用，成为Co基Cu互连CMP及后清洗中的主要络合剂。文章评述了柠檬酸在Cu互
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（2016ZX02301003-004-007）； 河北省自然科学基金资助项目（F2018202174）；
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钴（Co）具有较低的电阻率、良好的热稳定性、与铜（Cu）粘附性好等优点，可以替代钽（Ta）成为14 nm以下技术节点集成电路（IC） Cu互连结构的新型阻挡层材料。化学机械抛光（CMP）是唯一可以实现Cu互连局部和全局平坦化的方法，也是决定Co基Cu互连IC可靠性的关键技术。柠檬酸含有羟基，在电离后对金属离子有较强的络合作用，成为Co基Cu互连CMP及后清洗中的主要络合剂。文章评述了柠檬酸在Cu互连CMP及后清洗中的应用和研究进展，包括柠檬酸对Cu/Co去除速率选择比、Co的表面形貌以及Co CMP后清洗中Co表面残留去除等方面的影响，并展望了络合剂及Cu互连阻挡层CMP的发展趋势。
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