Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法

来源 :原子核物理评论 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wudouyuan
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简要地介绍了单晶Si中注入掺杂原子在热激活退火中发生的瞬间增强扩散现象, 综述了该现象发生的可能的微观机制和目前提出的几种抑制方法, 展望了高能重离子在该领域的应用前景.
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