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本文第1部分评述了低压气相合成金刚石的进展。第2部分介绍了用表面分析方法和HREM对金刚石(111)和(100)面的生长机理,原子氢和氧对金刚石生长本身的影响,亚稳态条件下金刚石的晶形显露规律,硅衬底上的形核机理和初期生长规律进行研究所取得的重要进展。
低压气相合成金刚石的机理研究新进展
【摘 要】
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本文第1部分评述了低压气相合成金刚石的进展。第2部分介绍了用表面分析方法和HREM对金刚石(111)和(100)面的生长机理,原子氢和氧对金刚石生长本身的影响,亚稳态条件下金刚石
【机 构】
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中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室北京100080,北京100080
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1993年3期
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