【摘 要】
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在光学零件(如棱镜、多面镜、五棱镜等)加工、检测过程中,需要知道各面之间的夹角,如对角度的精度要求高,则对检测仪器同样要有高的精度要求,目前国外高精度测角仪(如德国 MO
【机 构】
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中国船舶工业第六三五四研究所中国船舶工业第六三五四研究所江西九江江西九江
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在光学零件(如棱镜、多面镜、五棱镜等)加工、检测过程中,需要知道各面之间的夹角,如对角度的精度要求高,则对检测仪器同样要有高的精度要求,目前国外高精度测角仪(如德国 MOLLER 等)基本是采用精密光学度盘配上自准直光管来实现,光学度盘的刻线数越多,加工难度越大,所以测角仪精度不是很高(如 MOLLER 提供最高精度单次测量误差2″,多次测量平均误差0.6″)。多齿分度技术因其平均效应而能获得很高的分度精度,目前在国内角度测量方面运用较广泛,如能将多齿
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