【摘 要】
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数字分析和模拟是一个有效工具开发先进生长技术并且为 300 公里并且在以外的硅晶体控制缺点类型，尺寸和密度。在现在的纸，在 Czochralski (CZ ) 水晶生长配置的 melt 流动的数
【机 构】
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NationalEngineeringResearchCenterforSemiconductorMaterials
【基金项目】
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This work is financially supported by the International Scientific and Technical Corporation Major Planning Project （No. 2005DFA5105）.
论文部分内容阅读
数字分析和模拟是一个有效工具开发先进生长技术并且为 300 公里并且在以外的硅晶体控制缺点类型，尺寸和密度。在现在的纸，在 Czochralski (CZ ) 水晶生长配置的 melt 流动的数字分析，三维(3D ) 建模，模拟在磁场，当模特儿的逆和时间依赖者模拟下面融化流动被考察。最后，有试验性的大小的数字分析的比较被讨论。
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