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阐述集成电路制造工艺技术，包括微细加工技术、电路互联技术、集成电路后道制造工艺技术，探讨集成电路制造工艺质量管理中的问题和应对措施。
集成电路制造工艺的质量管理分析
【摘 要】
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阐述集成电路制造工艺技术，包括微细加工技术、电路互联技术、集成电路后道制造工艺技术，探讨集成电路制造工艺质量管理中的问题和应对措施。
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2022年06期
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