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期刊论文
氢氦离子注入机的研制
氢氦离子注入机的研制
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sheishei
【摘 要】
:
本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标.它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验.该机经调试,各项主要指标已达设计要
【作 者】
:
陈立华
崔保群
马瑞刚
郑永男
姜冲
马鹰俊
黄青华
蒋渭生
【机 构】
:
中国原子能科学研究院,北京,102413
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
离子注入机
透镜
离子源
质谱
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本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标.它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验.该机经调试,各项主要指标已达设计要求,工作稳定可靠.
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