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采用严格耦合波理论与矩阵LU分解法，求解了亚波长矩形介质光栅的衍射场，给出了TE和TM偏振波的耦合波方程组及其矩阵形式．通过数值计算分析了TE和TM偏振波的入射角、刻槽深度、入射波长等参量对＋1级衍射波衍射效率的影响．结果表明，当∧=0．5λ0，θ=55°，d=0．38λ0，λ=10．6um时可以实现对TE偏振波＋1级的闪耀，衍射效率达到近90％，同时具有较宽广的角度适应范围．