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传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应。此法中，约有１５－２０％的副产物四氯化硅产生，存在原料消耗高，产品成本高。新工艺应用化学平衡的原理，适当加入部分的四氯化硅，可抑制四氯化硅生成，吸收氯化氢中的微量水分，从而提高三氯氢硅的转化率，降低硅粉单耗，减少设备腐蚀，提高设备寿命。本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨，分析传统工艺之不足，以期能对现有生产和技术改造工作有所指导。