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基于碳化硅材料电离系数和延移率的温度依赖性，利用有效电离系数的Fulop近似，推出了6H－SiC单极性功率器件击穿电压和比导通电阻的温度依赖性解析表达式。理论预言的击穿电压和临界电场与先前的实验结果基本一致（误差小于10％），验证了理论模型的适用性。
6H—SiC单极功率器件性能的温度关系
【摘 要】
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基于碳化硅材料电离系数和延移率的温度依赖性，利用有效电离系数的Fulop近似，推出了6H－SiC单极性功率器件击穿电压和比导通电阻的温度依赖性解析表达式。理论预言的击穿电压和临
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年10期
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