【摘 要】
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研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量
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研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量硅杯的工艺条件.通过优化掺杂浓度,改善了传感器的温度特性,基本上实现自补偿.测试结果表明,多晶硅压力传感器综合精度达0.1%～0.2%Fs,灵敏度温度系数绝对值小于3×10-4/℃,有广阔的应用前景.
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