基于软件误差修正的通用直线工作台的纳米级定位控制

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：donghao3000

【摘要】

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提出了一种用于通用压电陶瓷线性马迭（PLCM）驱动平台的纳米级定位数控方案，该平台上配有栅距20μm的线性光栅．传统的信号细分多数基于硬件电路，无法对纳米级误差进行灵活的调整．本

【作者】

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范光照程方陈叶金

【机构】

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合肥科技大学仪器仪表学院,台湾公立大学机械工程系

【出处】

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纳米技术与精密工程

【发表日期】

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2006年1期

【关键词】

：

纳米定位数字控制波形校正细分后传神经网络 PID控制 nanopositioning digital control waveform correc

【基金项目】

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Supported by the national natural science foundation of China under contract number（50420120134）.

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提出了一种用于通用压电陶瓷线性马迭（PLCM）驱动平台的纳米级定位数控方案，该平台上配有栅距20μm的线性光栅．传统的信号细分多数基于硬件电路，无法对纳米级误差进行灵活的调整．本项研究开发了基于Labview的数字控制系统，该系统具有失真波形的调整、1／4栅距脉冲计数、基于Lissajous圆环的波形细分、后传神经网络和PID控制以及平台的位置反馈控制等特征．介绍了定位控制的3个步骤，即用于长行程连续移动控制的AC模式，用于低速短行程的开关模式控制马达驱动，以及以压电激励方式使马达工作的DC模式，这些步骤

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