【摘 要】
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基于微通道板(microchannel plates,MCP)高性能与绿色制造的要求,探索铅玻璃微通道板(lead silicate glass microchannel plates,LSG-MCP)的替代材料已成为MCP研究的热点。近
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基于微通道板(microchannel plates,MCP)高性能与绿色制造的要求,探索铅玻璃微通道板(lead silicate glass microchannel plates,LSG-MCP)的替代材料已成为MCP研究的热点。近20年来,以硅为替代材料的微通道板研究取得显著进展,并成为最具应用前景的微通道板类型之一。综述了硅微通道板(Si-MCP)的研究进展,主要概述Si-MCP的基底材料、制备技术、性能和应用领域,尤其是微孔阵列及其内壁表面功能层的成形技术。并将其与传统LSG-MCP比较,分析了Si-MCP制备技术与性能的优劣。最后,展望了Si-MCP的进一步发展方向。
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