【摘 要】
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金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)设备是生产半导体照明芯片最关键的设备.本文将主要介绍本研发团队开发的MOCVD控制系统,此控制系统
【机 构】
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华中科技大学,广东昭信半导体装备制造有限公司
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金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)设备是生产半导体照明芯片最关键的设备.本文将主要介绍本研发团队开发的MOCVD控制系统,此控制系统由上位机、可编程逻辑控制器(PLC)、触摸屏以及控制流量、压力、温度、速度和开关量的现场仪表构成.经过实际运行证明此套控制系统功能强大,操作简单,运行稳定可靠.
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