旋涂水溶液前驱体制备氧化锌薄膜及其性质

来源 :物理化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cxcqjf

【摘要】

：

通过旋涂法,采用Zn（OAc）2·2H2O和聚环氧乙烷（PEO）的水溶液为前驱体在不同的热处理温度下制备了ZnO薄膜.PEO的加入增加了溶液的成膜性,其较低的热分解温度有利于制得纯净的Zn

【作者】

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王小燕董桂芳乔娟段炼王立铎邱勇

【机构】

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清华大学化学系、有机光电子与分子工程教育部重点实验室

【出处】

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物理化学学报

【发表日期】

：

2010年7期

【关键词】

：

氧化锌溶液处理水溶液带隙电导性 ZnO Solution process Water solution Band gap energy Conducti

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China（60877026）, National Key Basic Research Program of China（973）（2009CB930602）国家自然科学基金（60877026）及国家重点基础研究发展规划项FI（973）（2009CB930602）资助

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通过旋涂法,采用Zn（OAc）2·2H2O和聚环氧乙烷（PEO）的水溶液为前驱体在不同的热处理温度下制备了ZnO薄膜.PEO的加入增加了溶液的成膜性,其较低的热分解温度有利于制得纯净的ZnO薄膜.文中考察了在不同热处理温度下制备的ZnO薄膜的形貌、结晶性、带隙（Eg）以及电导性.原子力显微镜（AFM）测试表明在热处理温度为400、450和500℃制备的ZnO薄膜的粗糙度均方根值分别为3.3、2.7和3.6nm.采用透射电子显微镜（TEM）测试发现ZnO薄膜中含有大量纳晶粒子.通过测试ZnO薄膜的

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