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基于Cu的随动强化模型，用二维有限元分析方法，模拟分析了不同互连宽度对Cu互连热应力分布的影响。研究发现，当互连尺寸减小到一定宽度后，静水应力先减小，后略有增加；随线宽的减小，等效塑性应变的最大值逐渐减小，塑性应变最大值的位置由Cu互连上界面处转向Cu互连上界面边角处，而发生等效塑性应变的区域先减小后增加。讨论了在不同Cu互连结构条件下，应力状态和塑性应变对Cu互连可靠性的影响。