【摘 要】
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提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种光栅模型,计算出不同入射角的椭偏参数(Δ,
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提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种光栅模型,计算出不同入射角的椭偏参数(Δ,Ψ),然后加入偏差量不同的高斯噪声,把加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值,采用正单纯形法进行求解.验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值.反演结果表明,在扩大搜索范围时,仍可以在一定精度范围内得到准确解,这就在理论上验证了用椭偏仪测试光栅参数的可行性.
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